氮氣純化工藝采用直接脫氧法，其工作原理為將制氮機生產出來的氮氣直接進入氮氣純化裝置進行脫氧、脫水，制取合格的高品質高純氮氣；通過管道，直接把制取的氮氣通入裝有碳脫氧劑的容器內，通過加熱后,氮氣中的氧被吸附，當吸附飽和時則此碳脫氧劑的壽命即到，將更換碳脫氧劑。因此該碳脫氧劑被稱為消耗型脫氧劑 （裝置設計為單塔除氧使用期1個月，后續(xù)需全部更換脫氧劑，即重新裝填；本套設備設計為兩個塔，兩塔交替使用，相同使用周期） 脫氧后的氮氣中殘氧量可小于10ppm。脫氧后的氮氣進入干燥器內，干燥器內裝有分子篩，氮氣經脫氧后產生微量CO2、CO被深度吸附;工藝上采用雙塔吸附，每只干燥器的工作周期設計為24小時，塔的轉換和再生均用自動控制。
